制盖间正压房洁净度标准()
(A)≥0.5μm:≤100000 个/英尺3
(B)≥0.5μm:≤10000 个/英尺3
(C)≥0.5μm:≤100个/英尺3
(D)≥0.5μm:≤10 个/英尺3
参考答案
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