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制盖间正压房洁净度标准()

(A)≥0.5μm:≤100000 个/英尺3

(B)≥0.5μm:≤10000 个/英尺3

(C)≥0.5μm:≤100个/英尺3

(D)≥0.5μm:≤10 个/英尺3

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