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先进制造技术
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光刻加工的工艺过程为：( )
（A）①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
（B）①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
（C）①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原
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