光刻加工的工艺过程为：( )|先进制造技术

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光刻加工的工艺过程为：( )

（A）①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗

（B）①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散

（C）①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

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