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在光刻技术中，智能机器人主要通过什么方式提高生产效率并减少人为错误（ ）。

（A）手动调整工艺参数

（B）集成先进的控制系统和传感器技术实现自动化

（C）依赖人工实时监控

（D）单纯增加设备数量