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公需课继续教育
在光刻工艺中,智能机器人对于保证制造精度的关键作用体现在哪里( )。
(A)提高曝光光源的强度
(B)精确控制机械臂和传感器系统
(C)改进光刻胶的配方
(D)加快显影液的流动速度
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