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在光刻工艺中,智能机器人对于保证制造精度的关键作用体现在哪里( )。

(A)提高曝光光源的强度

(B)精确控制机械臂和传感器系统

(C)改进光刻胶的配方

(D)加快显影液的流动速度

参考答案
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