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多选题 :  MEMS 行业未来发展趋势有()。

（A）SIP 是“后摩尔时代”的重要增长动力

（B）MEMS 器件智能化、微型化、低功耗化趋势逐步深化

（C）MEMS 器件使用的隐私性和安全性备受关注

（D）万物互联、人机交互时代，MEMS 器件应用场景更加多元化

（E）多传感器融合与协同