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继续教育公需课
多选题 :
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的( ),经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例()后映射到硅片上,然后使用()方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
(A)掩模
(B)缩小
(C)化学
(D)物理
(E)扩大
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