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请从气流方向、高效过滤器位置、保护对象、操作对象几方面比较生物安全柜、超净台、通风橱三种设备。

答：生物安全柜是一种负压净化工作台，气流方向是由外向内，高效过滤器位置在生物安全柜的顶部漏器上，保护对象为实验室和实验员。超净台是正压送风，气流方向是由内向外，进风口在背面或正面的下方，工作台正面的金属网罩内是超级滤清器。保护对象为实验材料。实验室通风橱气流控制由控制器与风阀来完成，气流方向是由外向内，过滤装置位于通风橱的上部。保护对象为实验室和实验员。